要学习半导体设备相关的专业知识，可以选择以下专业：

电子信息工程：

培养学生掌握电子技术、通信技术和微电子技术等方面的知识和技能，适用于半导体行业中的电路设计、信号处理和通信系统等方面的工作。

物理学/应用物理学：

注重物理原理和实验方法的深入理解，对于半导体材料、器件物理等方面的研究与开发非常重要。

材料科学与工程：

涉及材料制备、性能测试和材料应用等方面的知识和技能，有助于理解半导体材料的性质和制备方法。

微电子学/集成电路工程：

培养学生在半导体器件、集成电路设计、工艺制造等方面的知识和技能，学习如何设计、制造和测试半导体芯片。

电子科学与技术：

涵盖电子工程、电子物理、微电子学、光电子学等多个方向，是从事半导体行业的重要专业之一。

通信工程：

培养学生掌握通信系统的设计、制造和管理技能，这些技能在半导体行业的通信系统设计和制造中有广泛应用。

大功率半导体科学与工程：

主要研究支持高电压、大电流的半导体器件，学习内容涵盖功率半导体器件的原理、工艺、封装设计等。

材料物理专业：

学习材料科学基础、材料力学、电工电子学、材料热力学、量子力学、材料测试与分析技术、固体物理以及半导体材料与器件物理，与半导体行业密切相关。

集成电路专业：

专注于集成电路的设计、制造和测试，是半导体行业的核心专业之一。

自动化专业：

虽然这个专业与半导体设备的直接关系不大，但它涉及多个学科领域的知识，可以从事半导体行业的设备工程师、工艺工程师等岗位。

根据个人兴趣和职业规划，可以选择以上专业进行深入学习。如果对芯片设计和制造有浓厚兴趣，微电子学和集成电路工程专业是理想的选择。如果对半导体材料的性质和应用感兴趣，材料科学与工程和材料物理专业也是很好的选择。